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從低壓擴(kuò)散、PECVD，看高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與出路

2017-07-05 21:32:51 大云網(wǎng)　 點(diǎn)擊量： 評論 (0)
從低壓擴(kuò)散、PECVD，看高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與出路

演講題目：高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與展望——低壓擴(kuò)散、PECVD

演講人：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司臥式爐事業(yè)部副總鄭建宇

 

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